国内刻蚀设备企业主要有中微公司、北方华创、屹唐半导体和中电科

时间：2022-01-04 15:36:57

国内的刻蚀设备企业主要有中微公司、北方华创、屹唐半导体和中电科，其中，中微公司、北方华创和屹唐半导体均以生产干法刻蚀设备为主，中电科除生产干法刻蚀设备以外还生产湿法刻蚀设备。除上述企业外国内还有创世微纳、芯源微和华林科纳等企业生产刻蚀设备。

北京北方华创微电子装备有限公司（以下简称：北方华创）是A股上市公司北方华创科技集团股份有限公司（002371.SZ以下简称：集团）的全资子公司。北方华创是国内少有的覆盖领域广泛、产品种类众多、技术水平领先/先进、综合实力强劲的半导体装备旗舰平台。

根据中国证券监督管理委员会颁布的《关于基金投资非公开发行股票等流通受限证券有关问题的通知》的要求，本公司就旗下部分基金参与了北方华创科技集团股份有限公司（002371）非公开发行股票认购的相关信息公告如下：

博时基金管理有限公司（以下简称“本公司”）旗下部分基金参加了北方华创（代码002371）非公开发行股票的认购。根据中国证监会《关于基金投资非公开发行股票等流通受限证券有关问题的通知》（证监基金字[2006]141号）等有关规定，本公司现将旗下基金投资北方华创非公开发行股票的相关信息公告如下：

北方华创002371：北方华创主营半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件业务，为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。公司现有四大产业制造基地，营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。

上一篇文章分析了平台级的“卖铲人”北方华创，这篇文章我们分析总被拿来和北方华创作对比的产品级中微公司。这个产品级主要是相对北方华创在半导体设备领域而言，北方华创在刻蚀、PVD、CVD、ALD、氧化、退火、MFC等（看不懂专业名词没关系，下文有解释），产品相当全面。相对而言，中微公司仅在介质、硅以及MOCVD领域有所布局，产品如此单一，那它有什么资格和北方华创相对比呢，这要从它的产品开始说起。

《科创板日报》记者了解到，目前国产刻蚀设备厂商主要包括：中微公司、北方华创、屹唐半导体、沈阳拓荆等公司，其中中微公司的刻蚀设备已经打入台积电5nm芯片生产线，中微公司的等离子体刻蚀设备已经出货超1700台。

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